角形硅微粉是用硅微粉原材料经研磨而得到的外形无规矩多呈棱角状的硅微粉。角形硅微粉依据其原材料的不同又分为角形结晶硅微粉和角形熔融硅微粉。

角形硅微粉的首要出产设备有球磨机、振荡磨、微粉分级机和烘干机。下面别离简明介绍其作业原理。

球磨机：可所以干法也可所以湿法研磨物料。当球磨机作业时，磨矿介质与物料一起被提升到必定高度后下落，如此重复进行，处于磨矿介质之间及磨矿介质与磨机桶壁之间的物料受到冲击和物料在磨矿介质的翻滚、滑动进程中被研磨成细粉。

振荡磨：运用磨矿介质受磨机的振荡效果，在磨机腔体内滑动、翻滚而对物料进行研磨。微粉分级机的分级原理是：物料被风机抽吸到分级室内，在高速作业的分级转子和分级叶片之间被分级；粗物料沿分级筒壁而下，从底部粗粉出口排出；细粉则随气流穿过转子叶片的间隙由上部细粉出口排出，从而抵达分级的意图。烘干机：为了确保硅微粉极低的含水率和在单调时不受污染以及进步出产功率、节约能源而选用空心轴搅拌烘干机，其作业原理是：物料从进料口进入烘干机内，由空心桨叶运送至出料口出料；物料在被运送进程中，受空心桨叶搅拌并由空心桨叶和机体夹套一起加热，水分被蒸腾而烘干。含水量在15%～20%的物料，单调后水分可操控在0.05%以下。

角形硅微粉出产工艺有干法研磨和湿法研磨两种。干法研磨出产工艺：是将硅微粉材料放进球磨机或振荡磨中研磨，该研磨工艺能够接连进料和出料，也能够一次投入若干重量材料，接连研磨若干时间后出料；出料时要通过微粉分级机操控粒度，粗的产品回来磨机再磨或作为产品，细的则是产品。干法研磨要严厉操控入磨物料水分，产品不再单调。工艺流程见图1。

湿法研磨出产工艺：是将若干重量硅微粉材料一次投入球磨机中，参加适量的水，作业浓度在65%～80%；接连研磨十几个小时后，倒出料浆，用压滤办法或放在料桶内天然堆积脱水，得到含水料饼；用打碎机打碎松散后均匀接连地投到空心轴搅拌烘干机中，单调后得到产品。工艺流程见图2。

无论是干法研磨仍是湿法研磨，磨机中还应参加几种直径按要求配比的磨球，又称磨矿介质。依据进料粒度大小和产品粒度要求，磨矿介质的直径和配比是不同的，研磨时间也是不同的。为了避免物料在研磨时被污染，运用的磨矿介质应是非金属材料如氧化铝陶瓷球或硅石；磨机的桶体内也有必要衬高强度耐磨材料如氧化铝陶瓷、硅石或聚氨脂橡胶

球形硅微粉首要用于大规划、超大规划和特大规划集成电路的封装上。

现在国外球形硅微粉的出产有：高温熔融喷射法、气体火焰法、液相中操控正硅酸乙脂、四氯化硅的水解法等工艺。近年来，国内多家科研单位和企业都在进行球形硅微粉的研讨作业，但大都处于试验室研讨阶段，没有真正进入产业化阶段。

行球形硅微粉的研制作业，并建立了中试试验室，选用的是气体焚烧火焰成球法，简介如下。

粉料定量运送体系、燃气量操控和混合设备、气体燃料高温火焰喷枪、冷却收回设备，下面别离简明介绍其作业原理。

燃气量操控和混合设备：可依据火焰温度、火焰长度和刚度调理、操控燃气量和助燃气体量，并将燃气与助燃气体充沛混合后送到高温火焰喷枪。

冷却收回设备：将已被熔融且松散的高温球形硅微粉，迅速冷却避免呈现析晶现象，并将冷却后的球形硅微粉在收集器中收回。